Tổ đời thứ 35: Thiệt Diệu – Liễu Quán
1733 - 1742
Tổ sư Thiệt Diệu Liễu Quán là vị Sơ tổ của Thiền phái Liễu Quán, một dòng thiền thuần Việt ra đời vào đầu thế kỷ XVIII tại Đàng Trong. Hơn 300 năm qua, nguồn mạch thiền phái do Ngài sáng lập vẫn mãi được “truyền đăng tục diệm”, phát triển hưng thịnh, đóng góp quan trọng trong lịch sử Phật giáo Việt Nam.
- Tổ sư là người khai sơn chùa Thiên Thai (Huế), được xem là một trong những vị tổ quan trọng nhất của dòng Lâm Tế ở Trung và Nam Bộ.
- Viên tịch năm 1742. Theo ghi chép khắc trên bia đá nhà tổ (2004), ngài được liệt kê là một trong ba vị tổ sơ khởi truyền pháp về phương Nam, nhưng không phải là tổ khai sơn trực tiếp của chùa núi Bà Đen.
Tổ đời thứ 38: Đạo Trung – Thiện Hiếu (tục danh: Tổ Bưng Đỉa)
1763 - 1794
Theo các tài liệu thư tịch viết về Phật giáo Tây Ninh, Hòa thượng Đạo Trung – Thiện Hiếu (tục còn gọi là tổ Bưng Đỉa), thuộc thế hệ thứ 38, phái Thiền, chi phái Lâm Tế, dòng đạo Liễu Quán ở Đàng Trong đến núi Bà Đen khai sơn, phá thạch, lập nên ngôi chùa và đặt hiệu là Linh Sơn Tiên Thạch.
Tương truyền, nơi ngài trú ngụ từng là vùng bưng lầy đầy đỉa, khiến người dân không dám khai phá. Nhờ pháp lực trì tụng và lòng từ bi hóa độ, Tổ đã khiến "đỉa chúa màu trắng" hiển lộ và rút lui, trả lại sự thanh tịnh cho vùng đất, từ đó mới có thể dựng chùa, cày cấy. Nhưng có lẽ công hạnh lớn nhất của ngài lại gắn với huyền tích Linh Sơn Thánh Mẫu – Lý Thị Thiên Hương. Sau khi nàng tử tiết trên núi, chính Tổ Đạo Trung là người nhận được điềm mộng, tìm thấy thi hài, chôn cất và lập điện thờ. Từ đó, ngọn nguồn tín ngưỡng thờ Linh Sơn Thánh Mẫu được khởi sinh.
Sau ba mươi mốt năm trụ trì chùa Linh Sơn, đến năm 1794, ngài trao lại đạo tràng cho đệ tử và trở về Thủ Dầu Một, khai sơn chùa Long Hưng, tiếp tục hóa độ quần sinh.
Tổ đời thứ 36: Tế Giác – Quảng Châu (hiệu Tiên Giác – Hải Tịnh)
1788 - 1875
Một trong những vị thiền sư danh tiếng bậc nhất miền Nam thế kỷ XIX là Tổ Tiên Giác – Hải Tịnh, tục danh Tế Giác – Quảng Châu, thuộc đời thứ 36 dòng Lâm Tế Chánh Tông. Ngài sinh năm 1788 tại thôn Bình Hòa, phủ Tân Bình, tỉnh Gia Định.
Năm 1844, tổ Tiên Giác về Nam hoằng pháp, đáp lời mời của quan Kinh lược Nguyễn Tri Phương nhằm an dân, hóa đạo tại vùng đất Tây Ninh – Hà Tiên – An Giang. Ngài từng tu sửa nhiều ngôi chùa như chùa Khải Tường, chùa Thái Bình, chùa An Cư, và đặc biệt, đã để lại dấu ấn lớn khi chủ trì đàn truyền giới tại chùa Linh Sơn Tiên Thạch năm 1875, một sự kiện đánh dấu sự chấn hưng Phật giáo miền Nam.
Dù đến Linh Sơn sau tổ Đạo Trung gần một thế kỷ, nhưng công hạnh giáo hóa và tổ chức giới đàn quy mô của tổ Tiên Giác đã gắn kết đạo mạch miền lục tỉnh, trở thành sợi dây trung tâm trong dòng truyền thừa Lâm Tế tại miền Nam Việt Nam.
Tổ đời thứ 39: Tánh Thiền – Quảng Thông và Tổ Hải Hiệp – Từ Tạng (đời 40)
1794 - 1788
Sau khi Tổ Đạo Trung rời núi, chùa Linh Sơn được giao lại cho đệ tử là Tổ Tánh Thiền – Quảng Thông, đời thứ 39. Mặc dù hành trạng của ngài còn ít được ghi chép, nhưng việc giữ gìn đạo tràng giữa thời loạn là một công hạnh âm thầm đáng kính.
Kế tục sau đó là Tổ Hải Hiệp – Từ Tạng, đời thứ 40, tiếp tục giữ vững đuốc pháp nơi núi thiêng, truyền giới khai hóa cho hàng hậu học.
Tổ đời thứ 43: Tâm Hoà – Chánh Khâm
1871 - 1880
Đến đầu thế kỷ XX, núi Bà lại hội đủ duyên lành khi Tổ Tâm Hòa – Chánh Khâm (đời 43) đăng đàn trụ trì. Trong hai thập kỷ hành đạo, ngài đã tự tay xếp đá làm đường lên núi từ chùa Trung, một việc tưởng chừng nhỏ bé nhưng thể hiện chí nguyện kiên định, hóa độ không lời. Bên cạnh đó, từ năm 1922 đến 1937, ngài cũng xây dựng chùa tổ và nhà tổ bằng đá núi – những công trình chịu đựng qua thời chiến, đến nay vẫn còn vài cột đá được Ni trưởng Thích nữ Diệu Nghĩa bảo tồn và sử dụng khi phục dựng chùa Bà vào cuối thế kỷ XX.
Giảng đường Tâm Hòa – công trình tưởng niệm mang tên ngài – cũng được Ni trưởng cho xây dựng bên cạnh chùa Linh Sơn Phước Trung như một sự tiếp nối đạo hạnh của bậc Tổ sư năm xưa.